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TEL TRACK MARK・ACTシリーズ対応
Hot Plateシリーズ
KJTでは、TEL TRACK MARKシリーズおよびACTシリーズに対応するHot Plateを提供しています。 半導体フォトリソグラフィ工程のCoater / Developer装置に使用される加熱・温調ユニットとして、 既存設備の保守、交換、延命対応にご利用いただけます。
KJT自社開発Hot Plateの新品供給に加え、 既存Hot Plateの修理・Refurbish（リファービッシュ）・技術サポートにも対応し、 長期間使用されている半導体製造装置の安定稼働を支援します。
主な用途
Hot Plateは、TEL Clean TrackのCoater / Developer装置における重要な温調モジュールです。 MARKシリーズ、ACTシリーズなど、装置機種やPlate仕様に応じた対応が可能です。
主な対応シリーズ
・TEL TRACK MARK 7
・TEL TRACK MARK 8
・TEL ACT 8
・TEL ACT 12
・PHP Unit
・Plate Unit
KJTの対応内容
・Hot Plate新品供給
・既存Hot Plate修理
・Refurbish（リファービッシュ）対応
・技術サポート
・長期供給・設備延命支援
※ 実際の対応機種・仕様は、装置バージョン、Hot Plate型式、Unit構成および使用条件により異なります。詳細はKJTまでお問い合わせください。
TEL TRACK MARK・ACT対応 Hot Plateの特長
KJT Hot Plateシリーズは、TEL TRACK MARKおよびACTシリーズの設備運用を支援するため、 温度制御、温度均一性、製品信頼性、メンテナンス性および長期供給を重視した製品・サービスを提供しています。
01｜TEL MARK・ACTシリーズ対応
TEL TRACK MARK 7 / 8、ACT 8 / 12を中心に、各種Hot PlateおよびUnitに対応します。
02｜高精度な温度制御
半導体フォトリソグラフィ工程で求められる安定した加熱条件を支えるため、高精度な温度制御を重視しています。
03｜優れた温度均一性
Hot Plate表面の良好な温度均一性により、安定したプロセス環境の維持をサポートします。
04｜KJT自社開発
KJTではHot Plateの自社開発を行い、長期使用を想定した品質・信頼性を重視しています。
05｜修理・Refurbish対応
新品供給だけでなく、既存Hot Plateの修理およびRefurbishにも対応し、設備の長期運用を支援します。
06｜長期安定供給
旧型装置の保守部品不足に対し、新品・修理・Refurbish・技術サポートを組み合わせて長期運用を支援します。
TEL TRACK MARK・ACT 対応機種
KJTのHot Plateシリーズは、TEL TRACK MARKシリーズおよびACTシリーズの各種装置に対応しています。 下記は主な対応機種および実機写真の一例です。
主な対応機種一覧
| シリーズ | 対応機種・Unit |
|---|---|
| MARK Series | MARK 7・8 DHP / MARK 7・8 ADH / MARK 7・8 CPL（SMC TYPE） |
| ACT Series | ACT 8・12 HHP / ACT 8・12 LHP / ACT 12 CPL / ACT 12 HCH |
| Other Unit | PHP Unit / Plate Unit |
MARK Series
MARK 7・MARK 8 DHP
MARK 7・MARK 8 ADH
MARK 7・MARK 8 CPL（SMC TYPE）
ACT Series
ACT 8・ACT 12 HHP
ACT 8・ACT 12 LHP
ACT 12 CPL
ACT 12 HCH
PHP Unit
Plate Unit
その他の機種について
上記以外のTEL TRACK MARK・ACTシリーズについても、 装置型式、Hot Plate型式、Unit構成などを確認のうえ、 対応可否を調査いたします。
※ 掲載写真は対応機種・Unitの一例です。実際の対応仕様は装置型式、設備バージョン、Hot Plate仕様、Unit構成および使用条件により異なります。詳細はKJTまでお問い合わせください。
TEL TRACK MARK・ACT Hot Plate 対応サービス
KJTでは、TEL TRACK MARKシリーズおよびACTシリーズ向けHot Plateについて、 新品供給から修理、Refurbish、技術サポート、長期供給まで幅広く対応しています。
01｜Hot Plate新品供給
装置型式、Hot Plateタイプ、Unit構成を確認し、対応可能な新品Hot Plateをご提案します。
02｜Hot Plate修理
既存Hot Plateの異常や機能低下について、製品状態を確認したうえで修理可否を評価します。
03｜Refurbish
既存Hot Plateおよび関連Unitの状態に応じて、Refurbishによる再生・延命対応をご提案します。
04｜技術サポート
装置型式、Hot Plate型式、Unit構成、使用条件などを確認し、対応仕様や交換方法をご提案します。
05｜長期供給・設備延命
旧型TEL TRACK MARK・ACT装置の長期運用に向け、新品・修理・Refurbishを組み合わせた設備延命を支援します。
お問い合わせ時にご提供ください
・装置シリーズ／型式（MARK 7 / MARK 8 / ACT 8 / ACT 12など）
・Hot Plate / Unit型式（DHP / ADH / CPL / HHP / LHP / HCHなど）
・製品写真
・Part Number / 型番
・現在の不具合内容
・新品交換、修理、Refurbishのご希望
TEL TRACK MARK・ACT Hot Plateでお困りですか？
装置型式、Hot Plate型式、製品写真をご連絡ください。
KJTが新品・修理・Refurbishの対応可否を確認いたします。
