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IDI-CYBOR 薬液供給ポンプ・ディスペンスユニット
IDI-CYBORの薬液供給ポンプ／ディスペンスユニットは、フォトレジスト、ポリイミド、SOG、溶剤、現像液などの供給用途に向けた製品群です。
本ページでは、M610／M650、M450／M550、M7000 Series、M300／M310、M5000の5シリーズをご紹介します。
製品ラインアップ
| シリーズ | 方式・区分 | 主な対象薬液 |
|---|---|---|
| M610／M650 | 高粘度ディスペンス | 高粘度フォトレジスト、ポリイミド |
| M450／M550 | Pressure on Demand | M450：フォトレジスト M550：SOG、FOX、SILK、DE |
| M7000 Series | Positive Displacement | フォトレジスト |
| M300／M310 | Pressure on Demand | M300：フォトレジスト M310：溶剤、現像液 |
| M5000 | Positive Displacement | フォトレジスト |
新品販売・修理
KJT Japanでは、IDI-CYBOR薬液供給ポンプ／ディスペンスユニットの新品販売および修理に対応しています。対象型式、仕様、新品の供給可否、修理可否については、個別に確認のうえご案内します。
IDI-CYBOR 薬液供給ポンプ｜特長・仕様
対象薬液、粘度範囲、出力数、リザーバおよびコントローラ構成は、モデルごとに異なります。使用する薬液と装置条件に合わせて、対象モデルをご確認ください。
01｜幅広い対象薬液
モデルにより、フォトレジスト、高粘度フォトレジスト、ポリイミド、SOG、FOX、SILK、DE、溶剤、現像液に対応します。
02｜薬液粘度に応じたモデル構成
M300／M310およびM450／M550は0～300 cps、M5000は0～3,000 cps、M610／M650は300～30,000 cpsの粘度範囲が掲載されています。M7000 Seriesは構成により0～3,000 cpです。
03｜モデル別のコントローラ構成
M300／M310およびM5000は外部コントローラを必要とします。M450／M550およびM610／M650はオンボードコントローラを備え、PC接続が必要です。
| 項目 | M610／M650 | M450／M550 | M7000 Series | M300／M310 | M5000 |
|---|---|---|---|---|---|
| 粘度範囲 | 300～30,000 cps | 0～300 cps | 0～3,000 cp 構成による | 0～300 cps | 0～3,000 cps |
| 最大ディスペンス量 | 20 ml／45 ml | 75 ml | 提供資料に記載なし | M300：425 ml M310：850 ml | 16 ml |
| 出力数 | 1 | 1 | 1 | 最大3 | 1 |
| 供給元切替 | なし | なし | 提供資料に記載なし | あり | なし |
| 内部リザーバ | なし | あり | 提供資料に記載なし | あり | なし |
| コントローラ | オンボード PC接続が必要 | オンボード PC接続が必要 | 提供資料に記載なし | 外部コントローラが必要 最大4台のポンプに対応 | 外部コントローラが必要 |
| 駆動ガス | N/A | M450：窒素 M550：ヘリウム／アルゴン | 提供資料に記載なし | 窒素 | N/A |
| 標準ラインサイズ 公式表記 | 3/8、1/2 | 1/8、3/16、1/4、4 mm、6 mm | 提供資料に記載なし | 1/4 input／output | 1/4、3/8 |
※ M7000 Seriesの掲載値は、提供資料「TID Pump Line Card」に基づきます。詳細仕様および供給可否は個別にお問い合わせください。
対応用途・モデル
対象薬液や必要な粘度範囲、出力数、供給方式に応じて、各モデルをご確認いただけます。
M610／M650｜High Viscosity Dispense Unit
高粘度フォトレジストおよびポリイミド用途向けのディスペンスユニットです。粘度範囲は300～30,000 cps、出力数は1です。
M450／M550｜Pressure on Demand Dispense Unit
M450はフォトレジスト、M550はSOG、FOX、SILK、DEを主な対象薬液とするPressure on Demand方式のディスペンスユニットです。粘度範囲は0～300 cps、出力数は1です。
M7000 Series｜Positive Displacement Dispense Unit
フォトレジスト用途向けのPositive Displacement方式ディスペンスユニットです。提供資料に記載された粘度範囲は0～3,000 cp（構成による）、出力数は1で、可変吐出に対応します。
M300／M310｜Pressure on Demand Dispense Unit
M300はフォトレジスト、M310は溶剤および現像液を主な対象薬液とするPressure on Demand方式のディスペンスユニットです。粘度範囲は0～300 cps、出力数は最大3で、オンボードの供給元切替機能を備えています。
M5000｜Positive Displacement Dispense Unit
フォトレジスト用途向けのPositive Displacement方式ディスペンスユニットです。粘度範囲は0～3,000 cps、最大ディスペンス量は16 ml、出力数は1です。
新品販売・修理
KJT Japanでは、IDI-CYBOR薬液供給ポンプ／ディスペンスユニットの新品販売および修理に対応しています。ご使用中の型式、装置構成、対象薬液、症状などを確認し、対応可否をご案内します。
01｜新品販売
対象薬液、粘度、必要なディスペンス量、出力数、コントローラ構成、装置への接続条件などを確認し、対象モデルの仕様および供給可否をご案内します。
02｜修理
M610／M650、M450／M550、M7000 Series、M300／M310、M5000について、修理のご相談を承ります。型式、シリアル番号、不具合の症状、現在の状態を確認したうえで、修理可否をご案内します。
その他の型式について
掲載されていないIDI-CYBOR製品についても、型式と装置仕様を確認のうえ、対応可否を個別に検討します。
※ 新品の供給可否および修理可否は、型式、仕様、製品状態、必要部品の状況などにより異なります。掲載画像はイメージ図です。詳細はお問い合わせください。
