半導体製造用露光ランプ
KJT代替ランプ｜装置互換あり｜
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KJT代替ランプ｜装置互換あり｜
製品概要
● 半導体製造装置向けの日本製UVランプ
● 生産終了または入手困難となった純正ランプの代替品をご提案
● ランプの型式・寸法・電気特性・装置仕様を確認し、互換性を検討
● 出荷するランプはすべてテスト可能
● レガシー半導体製造装置や中古設備の維持・延命をサポート
● 装置のリファービッシュ用途にも対応
特長
● 各種半導体露光装置メーカーに対応
● 高品質・高安定性のUV照射性能
● 用途に応じたカスタム仕様に対応
● お客様との共同開発が可能
● 安定した品質と継続供給をサポート
対応機種
● Ultratech
● Canon
● Nano
● Nikon
● KLA
● TEL
● DNS
● SOKUDO
● SUSS
※対応可能な装置・ランプ型式については、個別にご確認ください。
対応サービス
● 生産終了品・入手困難品に対する代替ランプの選定・ご提案
● ランプ型式・寸法・電気特性・装置仕様の確認
● 装置との互換性・適合性の確認
● お客様の仕様に合わせたカスタムオーダー・開発
● 出荷ランプのテスト対応
※装置メーカー・機種・ランプ型式により対応内容が異なります。詳細はお問い合わせください。
