PRODUCT OVERVIEW
半導体検査・計測装置の
スペアパーツ・修理対応
KJT Japanでは、半導体検査・計測装置を対象に、スペアパーツおよび修理に関するご相談を承っています。
装置メーカー、装置型式、対象部品および故障内容を確認し、対応可否をご案内いたします。 掲載されていない装置型式についても、装置情報を添えてお問い合わせください。
6
対応メーカー
10
装置カテゴリー
37
掲載型式
スペアパーツに関するご相談
対象部品名、部品番号、装置型式および部品写真などの情報を確認し、対応可否をご案内いたします。
修理に関するご相談
装置型式、対象部品、故障内容および現在の状態を確認したうえで、修理対応の可否をご案内いたします。
掲載メーカー
KLA Tencor HITACHI AMAT HMI（ASML） Nikon Olympus
SUPPORTED EQUIPMENT LIST
半導体検査・計測装置
スペアパーツ・修理対応機種一覧
対応メーカー、装置カテゴリーおよび掲載型式をまとめた資料をご確認いただけます。
対応機種一覧のダウンロードページへ対応可否について
装置型式、対象部品および故障内容によって対応可否が異なります。 詳細情報を確認後、個別にご案内いたします。
装置型式、対象部品および故障内容によって対応可否が異なります。 詳細情報を確認後、個別にご案内いたします。
SUPPORTED MANUFACTURERS & EQUIPMENT
対応メーカー・装置
半導体検査・計測装置のメーカーおよび装置カテゴリー別に、掲載対象をまとめています。 装置型式ごとの詳細については「対応機種一覧」をご確認ください。
KLA Tencor
オーバーレイ計測装置 パーティクル検査装置 明視野欠陥検査装置 暗視野欠陥検査装置 膜厚測定装置
HITACHI
測長SEM（CD-SEM） 電界放出形電子顕微鏡
AMAT
欠陥レビューSEM装置
HMI（ASML）
電子ビーム欠陥検査装置
Nikon
マニュアルレビュー顕微鏡
Olympus
マニュアルレビュー顕微鏡
6
掲載メーカー
10
装置カテゴリー
ご確認ください
メーカー名または装置カテゴリーのみで対応を保証するものではありません。 装置型式、対象部品、部品番号および故障内容を確認後、対応可否をご案内いたします。
メーカー名または装置カテゴリーのみで対応を保証するものではありません。 装置型式、対象部品、部品番号および故障内容を確認後、対応可否をご案内いたします。
SUPPORTED MODEL LIST
対応機種一覧
装置メーカーおよび装置カテゴリー別に、スペアパーツ・修理相談の対象型式を掲載しています。 お問い合わせの際は、装置メーカー、装置型式、対象部品名、部品番号および故障内容をご連絡ください。
| No. | 装置種別 | メーカー | 対応型式 | 対応内容 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | オーバーレイ計測装置 Overlay | KLA Tencor | Archer 100 | スペアパーツ・修理 |
| 2 | KLA Tencor | Archer 200 | スペアパーツ・修理 | |
| 3 | KLA Tencor | Archer 300 | スペアパーツ・修理 | |
| 4 | KLA Tencor | Archer 500 | スペアパーツ・修理 | |
| 5 | パーティクル検査装置 Particle Inspection | KLA Tencor | SFS62XX | スペアパーツ・修理 |
| 6 | KLA Tencor | SFS64XX | スペアパーツ・修理 | |
| 7 | KLA Tencor | SP1 | スペアパーツ・修理 | |
| 8 | KLA Tencor | SP2 | スペアパーツ・修理 | |
| 9 | KLA Tencor | SP3 | スペアパーツ・修理 | |
| 10 | 明視野欠陥検査装置 Brightfield Defect Inspection | KLA Tencor | 235X | スペアパーツ・修理 |
| 11 | KLA Tencor | 28XX | スペアパーツ・修理 | |
| 12 | 暗視野欠陥検査装置 Darkfield Defect Inspection | KLA Tencor | AIT II | スペアパーツ・修理 |
| 13 | KLA Tencor | AIT XP | スペアパーツ・修理 | |
| 14 | KLA Tencor | AIT UV | スペアパーツ・修理 | |
| 15 | KLA Tencor | Puma 9000 | スペアパーツ・修理 | |
| 16 | KLA Tencor | Puma 91XX | スペアパーツ・修理 | |
| 17 | 膜厚測定装置 Film Thickness Measurement | KLA Tencor | F5X | スペアパーツ・修理 |
| 18 | KLA Tencor | Spectra FX200 | スペアパーツ・修理 | |
| 19 | KLA Tencor | Aleris 8350 | スペアパーツ・修理 | |
| 20 | KLA Tencor | Spectra 8660 | スペアパーツ・修理 | |
| 21 | 測長SEM（CD-SEM） Critical Dimension SEM | HITACHI | S-9380 | スペアパーツ・修理 |
| 22 | HITACHI | CG4000 | スペアパーツ・修理 | |
| 23 | HITACHI | CG4100 | スペアパーツ・修理 | |
| 24 | HITACHI | CG5000 | スペアパーツ・修理 | |
| 25 | 欠陥レビューSEM装置 Defect Review SEM | AMAT | CX200 | スペアパーツ・修理 |
| 26 | AMAT | CX300 | スペアパーツ・修理 | |
| 27 | AMAT | G2 | スペアパーツ・修理 | |
| 28 | AMAT | G3 | スペアパーツ・修理 | |
| 29 | AMAT | G5 | スペアパーツ・修理 | |
| 30 | 電子ビーム欠陥検査装置 E-beam Defect Inspection | HMI（ASML） | ePシリーズ | スペアパーツ・修理 |
| 31 | HMI（ASML） | Escan315 | スペアパーツ・修理 | |
| 32 | HMI（ASML） | Escan320 | スペアパーツ・修理 | |
| 33 | マニュアルレビュー顕微鏡 Manual Review Microscope | Nikon | OST3200 | スペアパーツ・修理 |
| 34 | Olympus | AL3110／20／30 | スペアパーツ・修理 | |
| 35 | 電界放出形電子顕微鏡 Field Emission Electron Microscope | HITACHI | S4800 | スペアパーツ・修理 |
| 36 | HITACHI | S5200 | スペアパーツ・修理 | |
| 37 | HITACHI | S5500 | スペアパーツ・修理 |
対応可否について
掲載型式であっても、対象部品、部品番号、故障内容および装置の状態によって対応可否が異なります。 詳細情報を確認後、個別にご案内いたします。
掲載型式であっても、対象部品、部品番号、故障内容および装置の状態によって対応可否が異なります。 詳細情報を確認後、個別にご案内いたします。
DOWNLOAD & INQUIRY
ダウンロード・お問い合わせ
半導体検査・計測装置のスペアパーツ・修理対応機種一覧は、 KJT Japan公式サイトのダウンロードページからご確認いただけます。
対応可否について
装置型式、対象部品、部品番号および故障内容を確認後、対応可否をご案内いたします。 一覧に記載されていない装置型式についてもお問い合わせください。
装置型式、対象部品、部品番号および故障内容を確認後、対応可否をご案内いたします。 一覧に記載されていない装置型式についてもお問い合わせください。
