製品概要
PRODUCT OVERVIEW
新品販売
固体レーザー・レーザー光源モジュール
KJT Japanでは、半導体検査・計測装置向けの 固体レーザーおよびレーザー光源モジュールを新品販売 しています。
本レーザーソリューションは、 一部の計測装置における光源代替 に対応しています。
測定精度を維持することを前提に、 使用コストの低減および 装置安定性の向上を図ります。
レーザーの設置および校正は、技術サービスチームが担当します。
対応装置・検査用途
COMPATIBLE EQUIPMENT
各固体レーザーの出力仕様、対応装置型式および検査用途は以下の通りです。
| 固体レーザー | 出力 | 対応装置型式 | 検査用途 |
|---|---|---|---|
| ZH-Advanced 488 | 30 mW | 6200 / 6220 / 6400 / 6420 / SP1 TBI | パーティクル検査 |
| 75 mW | AIT II / AIT XP / AIT XP+ / SP1 DLS | 暗視野欠陥検査 / パーティクル検査 | |
| ZH-Advanced 365 | 90 mW | AIT UV / AIT XUV | 暗視野欠陥検査 |
| ZH-Premium 355 | 350 mW | SP2 / SP2XP | パーティクル検査 |
| 1 W | 9000 | 暗視野欠陥検査 | |
| 2.5 W | 9100 / 9110 / 9120 / 9130 / 9150 | ||
| 3.75 W | 9550 |
対応装置をご確認ください
装置型式・出力仕様・検査用途の詳細については、お問い合わせください。
製品ラインアップ
光源代替・対応内容
LASER SOLUTION
計測装置のレーザー光源について、以下の内容に対応します。
01
光源代替
一部の計測装置におけるレーザー光源の代替に対応します。
02
測定精度
測定精度を維持することを前提としています。
03
使用コスト
使用コストの低減を図ります。
04
装置安定性
装置安定性の向上を図ります。
05
設置・校正
技術サービスチームがレーザーの設置および校正を担当します。
製品ラインアップ・出力仕様
PRODUCT LINEUP
対応装置・検査用途
COMPATIBLE EQUIPMENT
各固体レーザーの出力仕様、対応装置型式および検査用途は以下の通りです。
| 固体レーザー | 出力 | 対応装置型式 | 検査用途 |
|---|---|---|---|
| ZH-Advanced 488 | 30 mW | 6200 / 6220 / 6400 / 6420 / SP1 TBI | パーティクル検査 |
| 75 mW | AIT II / AIT XP / AIT XP+ / SP1 DLS | 暗視野欠陥検査 / パーティクル検査 | |
| ZH-Advanced 365 | 90 mW | AIT UV / AIT XUV | 暗視野欠陥検査 |
| ZH-Premium 355 | 350 mW | SP2 / SP2XP | パーティクル検査 |
| 1 W | 9000 | 暗視野欠陥検査 | |
| 2.5 W | 9100 / 9110 / 9120 / 9130 / 9150 | ||
| 3.75 W | 9550 |
対応装置をご確認ください
上記の装置型式・出力仕様・検査用途の詳細については、
お問い合わせください。
お問い合わせください。
レーザーの設置・校正は技術サービスチームが担当します。
