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TC Wafer 熱電偶溫度感測器

  • TC Wafer 熱電偶溫度感測器
  • TC Wafer 熱電偶溫度感測器
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產品特色
  • 由2~12吋晶圓+熱電偶組成(TC Wafer)
  • 準確量測設備平台溫度
  • 多點分布量測設備均溫性(1~34ea)/升溫速率可達35℃/S
  • 溫度範圍: -200~1250℃
  • 經由國際實驗室(ILAC)授權之第三單位實驗室依照TAF/ANAB做為校驗標準
  • 彈性化客製
  • 數據可透過有/無線紀錄器傳輸至PC端
校驗服務
  • ILAC / ANAB Certification Service
  • 第三方實驗室為擁有 50 多年的知識和經驗,利用由 ISO 17025 認證的 NIST 可追溯校準實驗室和支援辦公室組成的全球網路。
  • 並通過行業領先的校準服務和解決方案簡化您的校準工作流程。
  • 為您量身訂做的溫度量測工具,為您的產品品質把關。
  • 我們擁有專業開發團隊,豐富製程經驗,專業量測工具驗證與製作。
自行開發之熱電偶溫度感測器(Thermocouple Wafer),並經過國際實驗室認證聯盟(ILAC)授權之第三單位實驗室依照TAF/ANAB做為校驗標準,產品乃為藉由晶圓表面單一或是數個之溫度感測點,經測量後取得這些特定位置之溫度量測值,藉以協助使用者依此測量標準來對製程設備做溫度校准,同時監測環境溫度均勻性。主要應用:RTP、OVEN、REFLOW、HOT PLATE、CVD、PVD、SPUTTERING、OTHER PROCESS


 







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