製品概要
● TEL Alpha Series Furnace TS4000Z向けコントロールパネル代替品
● 既存のTS4000Zコントロールパネルからの置き換えに対応
● 生産終了または入手困難となった旧型パネルの更新をご提案
● 既存設備の操作環境を維持しながら、継続運用をサポート
● レガシー半導体製造装置の維持・延命に対応
※装置構成および既存パネルの仕様により、対応可否が異なります。詳細はお問い合わせください。
特長
● HCTとTS4000Zの機能を1台に統合
● 従来モデルと共通の操作性を実現
● モバイルパネル設計により優れた操作性を実現
● 既存設備への置き換えが容易
● 半導体製造装置の長期安定運用をサポート
対応機種
● TEL Alpha Series Furnace
● TS4000Z
● HCT
※装置構成および既存パネルの仕様により、対応可否が異なります。詳細はお問い合わせください。
対応サービス
● 新品販売
● 既存コントロールパネルからの置き換え提案
● 導入・交換サポート
● 技術サポート
● レガシー設備の長期運用支援
※装置構成および既存パネルの仕様により、対応内容が異なります。詳細はお問い合わせください。