【新規掲載】薬液供給・検査計測装置・レーザー製品情報を一挙公開
半導体製造装置の新品販売・修理対応
薬液供給ポンプ、検査・計測装置、固体レーザー
KJT Japan公式サイトに、IDI-CYBOR薬液供給ポンプ・デジタルバルブ、 半導体検査・計測装置のスペアパーツおよび修理対応、 固体レーザー・レーザー光源モジュールの製品情報を新たに追加しました。
KJT Japanは、半導体製造装置・検査装置・計測装置を対象に、 新品販売、修理、保守、オーバーホール、スペアパーツ供給および 中古設備のリファービッシュ・販売に対応しています。
今回、薬液供給システムに使用されるIDI-CYBORデジタルバルブおよび 薬液供給ポンプ、半導体検査・計測装置の対応機種一覧、 固体レーザー・レーザー光源モジュールの情報を新たに公開しました。
IDI-CYBOR 薬液供給用デジタルバルブ・関連部品
低粘度薬液の供給に使用されるIDI-CYBORデジタルバルブ、 薬液ディスペンスバルブおよび関連アクセサリーをご紹介しています。 半導体製造工程における薬液供給システムや低粘度ディスペンス用途に対応する新品製品です。
IDI-CYBOR 薬液供給ポンプ・ディスペンスユニット
フォトレジスト、SOG、溶剤、現像液などの薬液供給に使用される IDI-CYBORポンプおよびディスペンスユニットについて、 新品販売と修理対応サービスをご紹介しています。
対応製品：M610／M650、M450／M550、M7000 Series、 M300／M310、M5000
半導体検査・計測装置 スペアパーツ・修理対応
KLA Tencor、HITACHI、AMAT、HMI（ASML）、Nikon、Olympus製の 半導体検査装置・計測装置を対象に、スペアパーツ供給、保守部品および 修理対応情報をご案内しています。
主な修理・スペアパーツ対応機種
KLA Tencor： Archer 100／200／300／500、SP1／SP2／SP3、 AIT II／AIT XP／AIT UV、Puma 9000／Puma 91XX、 F5X、Spectra FX200、Aleris 8350、Spectra8660
HITACHI： S-9380、CG4000、CG4100、CG5000、S4800、S5200、S5500
AMAT： CX200、CX300、G2、G3、G5
その他： HMI（ASML）eP Series・Escan315・Escan320、 Nikon OST3200、Olympus AL3110／AL3120／AL3130
固体レーザー・レーザー光源モジュール
固体レーザー、レーザー光源およびレーザー光源モジュールの 新品販売情報をご紹介しています。製品情報および対応内容は、 製品ページからご確認いただけます。
半導体製造装置の修理・保守・部品供給
KJT Japanは、半導体製造装置、ウェハ検査装置、計測装置、 薬液供給装置を対象に、装置修理、保守、オーバーホール、 スペアパーツ・保守部品の供給、中古設備のリファービッシュおよび販売に対応しています。
TEL TRACK ACT 8・ACT 12、MARK 7・MARK 8をはじめ、 各種半導体製造装置の修理、制御機器、ホットプレート、 薬液供給ポンプおよび関連ユニットについて、対応情報を掲載しています。
半導体装置の新品販売・修理・スペアパーツ情報
各製品の仕様、対応機種、修理・保守サービスおよびスペアパーツ情報は、 KJT Japan公式サイトの製品ページからご確認いただけます。
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